​德国MLase激光器 MLI-HP-500KrF技术参数

德国MLase激光器  MLI-HP-500KrF技术参数

产品详情

Mlase  MLI-200 / 500 / 1000 激光器

MLase 的现代紧凑型 MLI 系列激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脉冲能量高达 16 mJ，重复频率高达 1，000 Hz，由于光束轮廓均匀，能量稳定，适用于要求苛刻的应用。后缀为LC的激光器还可以选择主动水冷（通过家用水或外部热交换器;无去离子水），以实现稳定的连续运行。

MLase MLI激光器

MLI-200 / 500 / 1000 激光器

MLase现代紧凑型MLI 激光器是波长为193nm或248nm的紫外光源，具有高达16mJ的高脉冲能量和高达 1,000 Hz 的脉冲重复频率。

它们是市场上使用寿命最长、可靠性、运营成本的独立设备。它们均匀的钢型材和能量稳定性使它们非常适合要求苛刻的应用。还能够进行主动水冷却（使用生活用水或外部热交换器；无需纯净水），以实现稳定的连续运行。可以提供MLI激光器的产品技术资料，安全技术资料，操作说明，维修手册，工厂能提供原产地证明，（MLI-HP-500KrF）

激光器常见问题

工厂已确认过的：

MLase AG MLI-HP  500 KrF-FBG

其中 MLI=型号，HP=高功率，500=重复率； KrF=波长248nm； FBG=光纤布拉格光栅

与标准 KrF 高功率激光器相比，FBG 型号的能量降低了 20%。

客户可以运行 16 mJ 的激光，能量运行得越高，气体的寿命就越短。10 mJ只是普通（非高功率）激光器的典型值。

激光器已经包含了模块，激光管等，只是两种版本包含的如激光管是不同的，（光学模块 OC193，分束器，备用气体洗涤器，交换管MLI-激光）等配件是常用的备件，可供客户选择的。

产品优势

高可靠性

均匀的光束轮廓

即时可用，不老化

管子全金属密封

数十亿个脉冲的延长寿命

能量稳定

应用场景

• 微电子与半导体：晶圆标记、钝化层刻蚀、MEMS 加工、光刻胶曝光。

• 光学与显示：光学薄膜图案化、玻璃 / 蓝宝石精密打孔与划线、柔性屏加工。

• 材料科学：聚合物表面改性、陶瓷 / 复合材料精密刻蚀、薄膜制备与退火。

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